二手 HITACHI LD-5011iA #9085774 待售
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HITACHI LD-5011iA是为制造最先进的半导体器件而设计的晶圆步进器。这种晶圆步进器能够通过一系列对齐的标线打印光来产生5英寸（200毫米）的微光刻图像。它具有自动化、同时更换镜头、模式投影和对准功能,提供卓越的性能和效率。LD-5011iA是一个由声光调制器组成的步进和重复设备，用于精确的标线定位和对焦。利用其自动化的模式投影和晶圆对准系统，可以在单个晶圆上投影和对准大量的模式。这种晶片步进器装有最先进的、高解析度的光学投影透镜，可以产生小至0.6微米特徵的衍射限定影像。此外,HITACHI LD-5011iA具有高速度和高精度功能,可提供最大的曝光时间和卓越的图像质量。它还能够支持广泛的曝光,并且能够抵抗允许用户根据需要优化流程。该系统还具有多种可根据用户需求使用的曝光功能。这包括用于最佳模式放置精度、缺陷检测和快速晶圆检测的现场安全角（FSE）。此外,该模型还能够提供动态聚焦控制（DFC）和镜头处理功能。此外，LD-5011iA还装有先进的冷却装置，有助于保持温度和湿度的稳定性。这台机器是一种先进的热控工具，在所有环境条件下都能改善均匀性和均匀性。其He-Cd激光束源经过专门设计，能够提供卓越的拍摄成功、均匀性和可重复性，从而获得高质量的效果。总体而言，HITACHI LD-5011iA晶片步进器是一个强健、高性能的平台，专为半导体微光刻加工而设计。凭借其众多的特点和功能，如自动换镜、图桉投影对准、动态对焦和镜头过程控制等，它是一项强大的资产，能够提供高吞吐量、出色的图桉放置精度和优越的效果。
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