二手 HITACHI LD-5011iA #9359431 待售

HITACHI LD-5011iA Stepper是一种高速、高精度的微加工机，非常适合先进的半导体生产。这种晶片步进器的设计提供优越的输出和灵活性在晶片处理。LD-5011iA先进的全自动功能包括3轴激光投影控制设备,能够精确控制超过0.25 μ m的图样分辨率的激光束。该激光投影控制系统提供了更好的放置精度,并允许更快地处理元缝线图样。它还具有一种获得专利的高精度波聚焦检测机制，可以防止晶圆的光学失真引起的错位。HITACHI LD-5011iA在其25英寸区域舞台上以每秒10,000步的最高速度运行，以进行快速和精确的扫描。它带有一个高精度的射击控制单元，允许在多个场点上优化精确扫描。LD-5011iA的三轴控制机使曝光误差最小化，即使使用多曝光也能提供高精度。HITACHI LD-5011iA配备了能够容纳多达12英寸晶圆的晶圆处理程序。此功能消除了由于加载多个晶片而造成的任何损坏或污染。耦合晶圆传输工具在需要处理多个晶圆时也增加了吞吐量。LD-5011iA Stepper由于其高速性能、优越的控制资产和超精密激光投影模型，是理想的晶圆处理解决方桉。其先进的自动化功能有助于确保快速、准确地处理甚至最复杂的作业。机器的高性能晶片处理程序可最大程度地减少用于加载和卸载多个晶片的DownTime。此外,HITACHI LD-5011iA的先进技术允许更快地生产精密产品,从而在制造领域提供了优势。