二手 ICOS LI 7250S #9163805 待售

ICOS LI 7250S是一种最先进的顶端晶圆步进器,旨在提供生产光刻方面的卓越性能。它采用模块化设备结构,采用集成开放的体系结构,为快速、经济高效的生产提供了一条途径。LI 7250S具有高分辨率（高达25海米）的光学扫描和高级软件控制功能,提供业界最高的吞吐量。ICOS LI 7250S具有广泛的样本定位选项,从手动加载到自动机器人处理。该系统还提供了独特的"无概率加载"功能,使用户能够减少处理时间和成本。步进器还提供了多种波束和扫描模式，以优化吞吐量，实现高溷合生产的更高产量。此外,LI 7250S还提供各种曝光控制（EC）功能,例如自动对准光束、曝光同步和减少步进噪声。所有EC功能均受其用户友好的图形用户界面（GUI）控制。ICOS LI 7250S在运行其最高分辨率（3X）光学器件时提供25nm的最大分辨率。其0.6X的光学还原功能还可以在更大的视场上更快地曝光。此外,步进器还提供多种示例扫描模式,如直线、步进、步进和重复以及图像扫描。这样可以确保用户实现高溷合生产的最高吞吐量。LI 7250S配备了创新的自动化过程控制（APC）单元,可实现步进参数的自动实时优化。该机利用预测算法和数据分析软件，对过程条件进行即时、准确、精确的控制。APC工具还帮助用户最大限度地提高产量并有效地管理生产运行。ICOS LI 7250S是为可靠性和耐用性而设计的,它通过以太网、GPIB、串行和USB具有安全可靠的连接。此外，它还配备了控制步进器本身的广泛选项，如控制软件、步进器联网和步进器监控探头。它还提供低容量光束关闭和内部控制器关闭等高级安全功能。LI 7250S是一种具有成本效益的晶片步进器,在生产光刻技术方面提供卓越的性能。它具有模块化资产构造、高级暴露控制（EC）功能、自动化过程控制（APC）模型以及各种高级选项。这使得它成为高溷合生产运行的理想选择。