二手 ICOS T 102 #9152988 待售

ICOS T 102晶片步进器是一种光刻设备，设计用于高精度、高吞吐量和低成本每晶片的结果。该系统利用投影光学来降低生产成本，同时在晶圆表面上生成高质量的图像。此设备配备了多种平台配置,例如高级2扫描和自动调平系统,以实现精确的曝光对齐。它还包括集成对齐机、自动对焦控制和快速曝光序列控制。T 102具有Smart Reticle/Mask Changer,可实现最大的工艺灵活性。此功能允许对不同类型的产品晶片使用多个掩码/标线。该工具还可以扫描多达6英寸的晶片以完成批处理。自动预对准可实现快速、轻松的标线定位。Auto Focus Smart Measure和Smart Index可识别几何位置和自动聚焦灵活性功能,从而实现最大分辨率和图像细节。ICOS T 102还配有先进的光学结构，具有8英寸的景深，用于改进对焦控制。它具有自动投影接触功能,有效地将图样从标线传递到晶圆。此功能有助于减少失真和噪音。该资产与自动热控制系统完全兼容，该系统可确保连续、一致的加热器温度，从而实现卓越的成像效果。为了确保快速、精确的结果，该模型还包括一些性能增强功能，如自动校准、标记传感器的自动化以及用于检测任何畸形的图像监视器。集成的校准/检查实用程序可确保跨多路复用器的可靠图像质量。该设备具有曝光时间优化功能，能够以更高的精度精确控制曝光时间，从而获得更好的效果。T 102晶片步进器是一种可靠可靠的系统，具有各种特点和提高性能的技术，具有很高的精度和吞吐量。它配备了一个自动化的热控制,以实现更一致的性能,它的标线更改器提供了显着的过程灵活性,同时提供了出色的图像质量。此单元非常适合各种生产应用程序,有助于降低成本并提高客户满意度。