二手 INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3 #9380735 待售

INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3
ID: 9380735
EMI Compensation system.
INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3晶圆步进器是一种用于制造半导体器件的高精度机器。利用光刻工艺将图样传递到晶圆表面。步进器能够实现小于50微米的特征尺寸,是生产纳米级电子元件的理想选择。MK3的核心是成像设备。该系统由光源、透镜单元和光束成形技术组成,将光聚焦到晶圆上。成像机能够将所需的图样从掩模精确再现到晶片上。它还控制光强度和光束大小的分布,以产生所需的特征。晶片步进器还配备了精密运动控制工具,确保光刻图样精确放置在晶片上。运动资产具有三轴电机控制,可以在三维空间中精确移动晶圆。插件的速度、加速度和减速也可以精确控制。此外,晶圆步进器还具有若干安全特性。这包括一个污染控制模型,有助于降低颗粒水平,以确保清洁和可靠的生产。可编程逻辑控制器(PLC)用于监控设备,以防止潜在的机器故障。PLC还用于控制晶圆步进器在不活动期间的运行,允许自动响应环境条件和系统状态。总体而言,INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3是一种可靠而精确的晶圆步进器,旨在生产高质量的半导体元件。它具有先进的成像和运动控制系统,可实现精确和精确的光刻和运动控制。步进器还结合了尖端的安全特性,以确保机器最安全、最可靠的运行。
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