二手 KMS Vision #9223591 待售

KMS Vision是一种先进的晶圆步进器，在半导体器件制造过程中具有高产率和光学性能。它允许晶片精确对准用于图样蚀刻的掩模。该系统采用具有光谱成像技术的先进光刻解决方桉，实现晶圆上的完美图像，并拥有自己的专有过采样技术，以提高光刻步骤的准确性和可重复性。视觉系统由步进系统和辅助系统两大组成。步进器是金属和精密线性导轨的结构平台，光学元件、阶梯和光掩模安装在该平台上。步进器提供对元件的精确位置控制,以便将光掩模放置在基板上、精确对准和使图样以高精度重复到晶片上。辅助系统包括对准单元、照明器和照相机。相机是可调的，以分析光掩模的像素和识别所需的特征，而对齐单元让用户快速和精确对齐多个特征。照明器精确地照亮光掩模，并提供一个明亮的光源对准和图样。这款来自KMS Vision的先进晶片步进器具有光谱成像、溷合晶片制图和先进光刻系统等独特功能，可提高生产速度和精度。其高精度的精密对准特性使其能够将光掩模的特性精确地绘制到1微米以下,而其0.2微米以下的光学分辨率使其在同类产品上具有优势。它具有超高分辨率定位能力,可以将掩模精确放置在晶圆的最小区域,从而提高收率。视觉还提供了惊人的斑点大小变化的4X，允许多层次的照明。先进的控制系统可以优化模式，以实现更好的聚焦，提高光学性能。此外，它的动态单镜头校正为多个曝光目标提供了广泛的光学校正选项，并且能够在曝光前检测出非聚焦模式，从而提高了产量并提高了光学性能。总体而言,KMS Vision先进的高速晶圆步进器是高精度和高产基材制造操作的理想选择,而这些操作的吞吐量和性能是必不可少的。