二手 KOMATSU G20K2-1 #9095919 待售

KOMATSU G20K2-1是一种用于半导体加工的晶圆步进器。它是为高精度和高性能晶圆步进器操作而设计的最先进的设备。该系统由四个关键组件组成：机器单元、光学机器、步进调整工具和控制资产。机器模型包括一个XY级、一个三相直接驱动电动机、一个光束和一个真空卡盘。XY级是放置晶片的大平台，光束可以在其上移动以精确定位，并将晶片暴露在步进器的照明设备上。三相直接驱动电动机能够精确控制光束的速度，有助于减少振动或速度波动造成的缺陷。光束和真空卡盘在曝光过程中固定晶片。KOMATSU G 20 K 2-1的光学系统由两个独立的相机组成，可以在x和y方向移动，以捕捉晶圆的高分辨率图像。它旨在精确捕获晶圆上最小特征的图像，并为步进器提供每个特征的精确坐标，使工具能够高精度打印所需的图桉。此外，该装置还配备了由三种不同光源组成的照明机器，这些光源是可调的，以确保曝光晶片的最佳成像条件。G20K2-1的Step Adjustment Tool使刀具能够快速调整步进器的位置和聚焦,以确保在晶圆上精确打印所需的图样。此资产可确保打印的图样与特征坐标精确对齐,从而产生所需的效果。最后，G 20 K2-1的控制模型由CPU和显示器组成。CPU管理步进器的各种元件和功能，而显示器则可用于实时显示成像过程。该设备还具有用户友好的界面，使用户更容易控制步进器的参数和设置。总之，KOMATSU G20K2-1是为高精度和高性能操作而设计的最先进的晶圆步进器。它由四个关键组件组成，使工具能够在晶圆上准确快速地产生定义的模式。