二手 KOMATSU G20K2-1 #9095922 待售

ID: 9095922
优质的: 2002
KrF Laser scanner 2002 vintage.
KOMATSU G20K2-1晶片步进器是一种在湿蚀过程中设计用于可靠操作的精密机器。KOMATSU G 20 K 2-1是专为光刻工艺而制作的300 mm工具。它有一个顶置的烧烧盒、一个亚赤褐色和一个上部升降板,都是专门为在湿蚀刻过程中最大化精度而设计的。亚赤褐色提供了完美的温度和化学环境,允许严格控制和均匀的蚀刻过程。G20K2-1使用自动频闪控制装置根据晶片的厚度自动调整曝光时间,从而实现高效、精确的晶片处理。它的± 12 μ m分辨率产生了紧密尺寸公差的一致结果,而它的位置定位设备提供了很高的精度。除此之外,先进的微负荷机制提供了更高的精度和改进的位置稳定,有助于提高最终晶片的质量。G 20 K2-1利用湿蚀刻工艺,产生抛光且完全均匀的表面。当结合其三级掩蔽过程,这提供了异常精确的寄存器和尺寸控制。此外,它的闭环背景自动对焦系统有效地控制了焦点驱动,以确保成像始终正确聚焦。KOMATSU G20K2-1具有多种功能,使其非常适合其预期的应用程序。例如,其先进的光电装置减少了曝光时间,减少了晶片上的摩擦磨损,而晶片卡盘旋转补偿和安全加载机则有助于确保晶片的完整性和准确性。此外,其综合清洁臂确保碎片和停机时间保持在最低限度。总体而言,KOMATSU G 20 K2-1晶圆步进器是一种可靠、精确的机器,非常适合光刻工艺。其先进的功能可实现高效、精确的晶圆处理,并提供更高的尺寸精度,从而确保高质量的最终产品在停机时间最短的情况下。
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