二手 KOMATSU G20K2-1 #9095924 待售

KOMATSU G20K2-1是一种高性能晶圆步进器，设计用于精确定位和对齐图像传输过程中具有高度精度的光掩码。这种坚固、集成的晶圆步进器利用现场可编程逻辑设备（FPLD）和多采样十字准线相机来精确定位光掩模,并创建参考光掩模上采样区域的精确十字准线。FPLD，加上运动和控制单元，让KOMATSU G 20 K 2-1能够精确定位光掩模。该单元测量晶片在X和Y轴上的定位，并生成连续数据进行动态控制。一种具有先进照明熄火电路的环境眼镜光束传感器，可采集数据进行精确测量。G20K2-1配备了两组微米，以方便精确的微对准光掩模。微米测量光掩模和晶圆之间的距离每0.1mm，数据被发送到控制设备和晶圆步进器，以调整光掩模的位置和对齐方式。电机驱动的电机用于驱动微米。G 20 K 2-1还配备了自动对焦系统和激光对准装置。自动对焦装置使用CCD相机来捕获有关光掩模焦距的数据。该数据可用于调整光掩模和晶圆之间的距离，以确保精确聚焦。激光对准装置利用光束传感器从晶圆边缘分析光掩模上的十字光像。此数据用于在曝光过程开始之前更正光掩模的定位。为了进一步提高光掩模的位置和对准精度，KOMATSU G20K2-1利用先进的分析和校正算法消除了十字准线图像中的斑点缺陷。此外，可以对FPLD进行编程，以适应不同的曝光参数。KOMATSU G 20 K 2-1还配备了集成诊断和监控机器。该工具可监控机器的性能并提出改进建议。此外，来自FPLD和运动和控制单元的所有数据和参数都可以转移到一个中心站，以便对整个资产进行远程控制和监测。总体而言,G20K2-1是一个高级且坚固的晶圆步进器,旨在为图像传输过程提供卓越的性能和准确性。凭借其先进的特性和技术，它确保了所有光掩模曝光的最精确结果。