二手 KONICA MINOLTA Range 5 #9256713 待售

KONICA MINOLTA Range 5是一种高分辨率晶圆步进设备，设计用于先进的光刻工艺，如光掩模制造、晶圆制造、研发。该系统经过精心设计,可提供一流的性能,同时保持灵活性以适应各种流程。该单元利用VUV计量-ON探测器Ex UV光束源在视场中投影出一个均匀的、类似彩虹的高斯强度剖面。投影图像高度稳定，允许晶片在机器内精确定位。该工具具有高分辨率光刻技术,最小线宽为10nm。还通过补偿球面像差将焦点深度提高到490nm,从而能够准确再现最精细的细节。资产还具有较大的磁场深度，允许晶片在任何方向上移动到6mm。该型号还配备了自动对准设备，允许更快、更轻松的设置时间。该系统设计的准确性和一致性是市场上任何其他单位都无法比拟的。Range 5 Wafer Stepper非常适合先进的光刻工艺，是晶圆制造、光掩模制造和其他研发活动的完美工具。