二手 MIDAS MDE-20000 #9215486 待售

MIDAS MDE-20000是用于光刻的晶圆步进器，用于将各种3D形状和结构成像到基板上。该装置由两个截然不同的组件组成；投影单元和晶圆级，并利用紫外线光刻来定义基板上的形状。MDE-20000投影单元能够定义分辨率为0.25微米（250 nm）、精度高达5微米（5,000 nm）的结构。投影单元装有扫描光学设备和激光源，用于将所需的形状图样投射到晶圆上。投影单元的光学器件设计为在整个成像区域内提供超过0.1%的强度均匀性，可用于投影最大直径20毫米的曝光场。MIDAS MDE-20000的晶片级允许晶片或基板在投影单元下方移动。晶片固定在二维电动机驱动级，可以调整为沿着X轴和Y轴移动。晶片级还包括闭环电机控制系统，用于确保晶片始终处于正确的成像位置。晶圆级的位置可以测量，精度高达0.5微米（500 nm）。MDE-20000还具有一整套安全功能，以保护用户和设备免受潜在的破坏性辐射。这些功能包括一组传感器,用于监控设备的温度和光线强度,以确保用户的安全,以及安全快门和紧急电源切断机。MIDAS MDE-20000是一种功能强大且可靠的晶圆步进器,适用于各种光刻应用。MDE-20000结合了成像分辨率、精度和安全功能,是满足高精度成像需求的理想解决方桉。