二手 NIKON 10897B #293665610 待售

NIKON 10897B晶片步进器是一种高度精确的大型场成像设备，旨在产生高精度的大型半导体晶片图像。该系统采用高分辨率级，使其在450毫米的场大小下实现小至1纳米的成像精度。10897B有一个两波长的激光单元，结合了405 nm的基于的ArF（的氟）准分子激光器和532nm的频率三倍的Nd： YAG （neodymium-doltrium aluminal garnet）激光器。这台两波长的机器允许它对比单波长系统更薄的层进行成像。NIKON 10897B具有低k1失真，这使得它能够在图像平面中以较少的失真来成像。它还有一个高数值光圈（NA），这使它能够通过透镜收集更多的光，使其达到高分辨率。该工具在镜头上有一层防反射涂层，有助于避免光散射和反射，从而提高图像质量。10897B晶片步进器是使用6轴运动资产构建的，这确保了晶片阵列时的精确定位。它与NIKON S2M Optimizer软件集成在一起,该软件可定期监控和补偿加工特征与设计模式之间的差异,从而提供高吞吐量和准确性。它还有一个主动振动控制模型，将外部振动隔离到允许的水平，确保高精度。NIKON 10897B具有高达每小时360种模式的高速模式,从而实现晶圆步进器的快速吞吐量。它还改进了数据流操作，使设备能够以高达每秒12兆位的速度连接到其他设备，并快速加载数据文件。此外，该系统设计为易于维护，具有补偿过滤器单元和定期清洁步进器的清洁功能。总体而言，10897B晶片步进器是一种用于半导体晶片加工的高度先进和精确的成像机器。它提供了一个大成像场、双波长激光工具、低k1失真和高NA、透镜防反射涂层、6轴运动资产和S2M Optimizer软件、主动振动控制模型、高速模式化率以及改进的数据流操作。这些功能使NIKON 10897B晶片步进器能够提供高精度和吞吐量,确保高效和高质量的晶片生产。