二手 NIKON EX12 #293776343 待售

NIKON EX12是一种最先进的晶圆步进器，设计用于半导体制造的先进光刻工艺。它拥有完整的1：1投影光学设备，能够在晶圆上进行高水平的精密成像，产生精确尺寸的图样，细节清晰。这使得它非常适合半导体应用，包括设备制造和亚微米特性对准。NIKON EX 12使用两阶段还原系统，以最大程度地减少失真和像差，导致最终影像得到改善。它结合了最新的计算机数控（CNC）技术，以确保平稳、准确、可重复的操作。晶圆步进器可以用800mm场镜投影（FLP）单元产生80 nm至20 µm间距的图样。EX12在长时间的手术中也具有很高的稳定性。其先进的闭环伺服驱动机有助于降低步进总振动、热感应失真和空气湍流。产生精确一致的晶片对准和成像.步进器配备了先进的模式识别工具，使复杂的模式成像具有很高的精确度。它还具有不同的扫描模式，如线性、可变和螺旋扫描。可变扫描模式对于曝光时间较长的晶片特别有用，因为它可以帮助优化成像曝光。步进器还配备了集成的测量资产，最大限度地减少了操作员的干预，改善了过程控制。它可以实时生成标线坐标，让操作员可以即时精确检查产品形状。EX 12也有能力支持最多两个阶段的对准，以及在各阶段之间转移半导体晶圆。这有助于提高芯片生产过程的效率。晶圆步进器支持半导体制造过程中使用的多种类型的软件，包括全系列的EDA解决方桉。总体而言，NIKON EX12是一种先进的晶圆步进器，旨在满足半导体行业最苛刻的工艺。它具有出色的成像精度、高水平的过程控制和自动化,以及一系列旨在简化半导体制造过程的功能。