二手 NIKON FX-601F #293793272 待售
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ID: 293793272
优质的: 2008
Stepper
Operation rack
Control rack
Plate loader
In-line unit
Illuminator
Lamp starter
RCX Motor
Panel size: 370 X 470
2008 vintage.
NIKON FX-601F Wafer Stepper是一种旨在协助制造半导体MEMS（微型机电系统）、显示器和其他集成电路的工具。NIKON FX 601F作为一种精密机器，为晶圆对准和光刻晶圆制造工艺取得严格的结果提供了有价值的选择。FX-601F的核心配备了先进的NIKON Step and Scan阶段。这个阶段的设计允许控制和精确步骤和重复暴露晶圆。Step and Scan阶段与基于CCD的成像设备相连,该设备提供晶圆上结构的高分辨率成像。还利用独立控制的z轴管理器对曝光参数进行高精度控制。此外，FX 601F还配备了其他几个关键功能，包括集成光刻光源、光学迭加测量系统、众多晶圆处理工具和附件以及强大的控制器单元。光源为用户提供了在各种波长范围内工作的灵活性，从而实现了工艺优化和最小化曝光时间。光学覆盖测量机提供了以微米精度将光掩模精确对准晶圆所需的精度和速度。晶片处理工具，如晶片对准板，可实现晶片的精确加载和卸载，而晶片槽则将污染降至最低。控制器工具允许同步自动化,允许可重复的过程和质量生产。总体而言,NIKON FX-601F Wafer Stepper是一个必不可少的工具,旨在帮助精确制造集成电路以及其他半导体和MEMS组件。它具有高精度的Step and Scan级、光源、迭加测量资产和各种晶圆处理工具,以及先进的自动化和控制系统,为任何制造操作提供了宝贵的补充。
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