二手 NIKON FX-601F #9241806 待售

NIKON FX-601F是由NIKON Corporation设计开发的晶圆步进机。主要用于半导体工艺开发制造的光刻系统。该机器能够收集各种步进模式，并且能够处理直径达300毫米的晶圆尺寸。适用于多种光掩模制造领域和工艺。NIKON FX 601F晶圆步进器配备了处理提供给系统的输入图像的数字图像处理设备。该单元应用压缩、裁剪、蒙版和切割等光刻工艺,以便在晶圆上进行精确的图样复制。输入模式由三通道光电传感器检测，然后转换为二进制模式数据。数据经过放大、平滑、过滤，最后打印到晶片上。FX-601F晶片步进器通过改进的线性编码器和广播伺服驱动电机提供精确、快速的打印。该机器能够产生各种模式，包括线条/空间模式、脉冲电子模式、重迭模式和接触孔模式。它具有211 x 211 mm的宽加工区域,地址分辨率为0.2 μ米。印刷图样的精度和均匀性取决于晶圆表面平整度精度和步速。FX 601F晶片步进器配有薄膜保护机，以保护蒙面图桉。此工具侦测到胶片因外力造成的破损，并停止列印以避免损坏图样。该机还配备了高灵敏度的自动对焦资产，以保证打印图样的质量。该机器有一个内置的配方数据库，用于存储晶圆加工和光掩码制造的所有程序。NIKON FX-601F晶圆步进器设计方便操作和维护.它有一个先进的对接站，提供简化的晶片装卸操作。基于图形操作菜单的人机工程学设计的用户界面面板使用户能够轻松设置机器参数以实现高效操作。NIKON FX 601F晶片步进器能够高精度地处理各种图桉形状.它是光掩模制造和半导体加工的理想机器，因为它提供了简单的维护和生产成本效率。借助这台机器，可以实现高产光掩模制造。