二手 NIKON FX-601F #9398729 待售
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NIKON FX-601F是一种先进的晶圆步进器，旨在实现先进的光刻工艺。它为高精度半导体器件的协同成像和制造提供了理想的机制。NIKON FX 601F利用先进的技术特性，以高通量速度和可靠的运行实现最佳的平面内性能。它提供了>=3 µm线/空间的最高分辨率精度,包括出色的步进和重复精度。步进器能够处理多种材料，包括传统的基于光刻的抗蚀剂、二进制和高贵层条件。此外,它还能够支持直径从8毫米到200毫米不等的各种晶圆尺寸,这使其成为需要精度和高通量的应用程序的理想选择。FX-601F的主要特点之一是高度集成的多图样技术（MPT），能够实现先进的光刻工艺。这项技术有助于降低掩码成本，提高可建造性，并提供更可靠和准确的结果。此外，集成光学设备允许高图像质量的高数值孔径，减少相移和散光效应。为确保可靠的操作和高效的晶圆处理，FX 601F配备了高精度的精密光学扫描仪和3-D投影系统。其独立的镜头移位单元可以实现最佳的扫描参数和快速步进操作，而不考虑晶圆和图样大小。此外,步进器还设计了具有高度预对准精度的透镜,从而能够在大型基板上进行无应力和高度精确的投影。该装置进一步配备了内置的自动对焦机，操作方便，重复性好。总体而言,NIKON FX-601F是一种精密的晶圆步进器,具有许多高级功能,可帮助确保高精度光刻,并具有卓越的平面内性能和最大的吞吐量。NIKON FX 601F集成了MPT和高精度组件,是专业半导体制造和光刻工艺的有力选择。
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