二手 NIKON FX-601F #9412239 待售

NIKON FX-601F晶圆步进器是一种先进且高度精确的成像工具，用于制造过程。其设计针对高精度光刻和高产量生产薄膜晶体管、薄膜光电元件和IC进行了优化。NIKON FX 601F能够产生分辨率高达1.2微米的小到大面积图像。成像光学器件的物理视场为128mm平方，而成像场的面积为200 mm平方。传感设备是由系统控制计算机驱动的高清4CCD线扫描摄像头。光学器件的设计提供了广泛的景深，可用于不同的基板和各种抗蚀剂和材料。步进器能够以高达每小时100晶圆的速度运作，使其适合高通量製造。该单元具有多种功能，以确保高精度成像，包括相机的自动对准、自动对焦以及晶圆方向的自动调整。步进器与流行的大气和非大气处理技术兼容，能够在地形复杂的基板上产生一致的图像。步进器能够控制曝光时间、标线大小和位置以及曝光间隔。它具有高清监视器和用户友好的图形用户界面（GUI），以方便机器的编程和操作。该工具设计有安全功能，如内置的安全灯帘和互锁，以防止意外暴露。FX-601F是一种高效的资产，具有极好的性价比，非常适合那些希望提高生产能力的人，同时保持尽可能高的精度和准确性标准。它是先进光刻应用的宝贵工具，能够快速生产高质量的薄膜晶体管、薄膜光电元件和IC。