二手 NIKON FX-66S #9387891 待售

NIKON FX-66S是晶圆步进器，或步进式扫描光刻工具，利用NIKON开发的先进曝光光学和光学/机器控制技术实现顶级总吞吐量。具体而言，FX-66S采用全自动舞台系统，可实现自主模式对齐和迭加登记；提高吞吐量，提高产量。它还使用专利光学引擎，产生分辨率高达0.5µm、景深较大的高分辨率图像。NIKON FX-66S系统会产生多种级别的模式,包括6度二进制级别和50灰度位级别。此外,FX-66S使用高精度的闭环晶片级,既能提供高端光刻所需的精度和稳定性,又能产生最小的电平偏移。它还提供了先进的模式优化功能，以减少周期时间和光学失真的影响。为了增加模式分辨率和准确性,NIKON FX-66S集成PC控制的TTL选项提供了高水平的曝光均匀性,以及曝光区域与周围区域之间的均匀性保证。此外,FX-66S还包括功能强大的SIPP Mirror Optimizer,它通过全新的高度优化的高级步骤和重复功能提高了关键特征的准确性。这将使图层具有高质量的图样,并最终有助于减少打印时间和提高生产质量。