二手 NIKON FX 701 / FX 901 #293661855 待售

NIKON FX 701和FX 901晶片步进器是一种先进的光学光刻系统，设计用于在半导体晶片上精确绘制亚微米和纳米尺度的特征。该系统具有优异的光学性能,并配备了先进的工艺监控技术.NIKON FX 701和FX 901系统采用两个单独的检查和制造（或"工艺"）步骤。首先，光学投影系统使用高度详细的步进透镜将市场图样成像到晶圆上。镜头组件有几个鲜明的特点，包括极端高温的稳定性，这在光刻应用中极为关键。第二步是利用光学激光照明，通过只暴露指定区域来精确绘制晶片亚微米特征的制造工艺。FX 701和FX 901系统具有6英寸的扫描范围和更长的舞台行程,因此提供了极高的精度和卓越的成像质量。这种卓越的成像分辨率使NIKON晶片步进器能够为先进的纳米级器件制造创建高度精确的模式。NIKON FX 701和FX 901步进器除了创建高度详细的亚微米模式外，还提供即时监控，允许现场工艺调整。这种先进的工艺监控使NIKON晶片步进成为当今要求苛刻的半导体制造应用的可靠高效工具。FX 701和FX 901晶片步进器还包括专利注册功能,可提高晶片吞吐量和精度。配准功能通过精确扫描晶片自动执行多个任务,包括平移、多次对齐和模式校正。这进一步提高了流程的一致性和准确性。总体而言，NIKON FX 701和FX 901晶片步进器是为半导体晶片精密纳米级制造而设计的先进光刻系统。FX 701和FX 901系统利用极其精确的步进镜头、专门的激光照明技术和先进的过程监控系统来创建高度详细的亚微米模式。此外,该系统还具有专利注册功能,可提高晶圆的吞吐量和准确性。这些特性的结合使得NIKON FX 701和FX 901晶圆步进成为当今先进纳米技术应用的有效可靠工具。