二手 NIKON G4D #9144947 待售

NIKON G4D是晶圆步进器，一种用于半导体工业的光刻工具。它能够生产具有高度精度和精确度的半导体器件。它具有先进的光学设备，以及精密的x-y对准能力，以及最先进的计算机控制。凭借其先进的光学元件和高度精确的对准，G4D能够在x和y轴上产生极高分辨率的结构和小至0.2微米间距的特征。NIKON G4D的光学系统包含一个高数值孔径扫描数值孔径（SNAP）单元和一个12毫米场发射器阵列（FEA）阵列。SNAP机由一个可移动的镜像组件、一个精确的聚焦膜片和一个高度敏感的图像阵列组成。其先进的光学器件能够生成清晰、详细的图像,涵盖广泛且可定制的一系列特征,从而使其能够有效地在半导体晶片上写入有阵列的掩码。G4D最先进的计算机控制使用同步的步进重复控制器,以确保每个掩码在曝光前都能正确定位。这个工具还能够操纵复杂的、多层次的扫描，以产生一系列的结果，这使得它成为一个高度通用的工具。此外,该单元还具有内部质量控制资产（QCS）,用于监控和调整曝光过程。NIKON G4D还具有广泛的特点，允许在光刻方面的灵活性。它有一个高速轮廓编程模型，便于阵列，以及包括激光和电子束的一系列曝光源。它还提供内置校准，以及一系列温度和薄膜控制设置。总体而言，G4D是生产高分辨率半导体器件的极其可靠和精确的光刻工具。其先进的光学设备、高度精确的对准能力以及最先进的计算机控制,使其非常适合尖端的生产要求。