二手 NIKON G6 #293793323 待售

NIKON G6是NIKON Instruments Inc制造的高精度晶圆步进器。它能够精确成像具有高吞吐量吞吐量和低线宽的各种晶圆尺寸和模具配置。NIKON G6为满足半导体行业的需求而设计,它还具有卓越的运动线性和图像质量指标。G6是由两个扫描级、晶圆级和探测器级组成的四轴设备。扫描级负责精确定位晶片相对于由控制系统确定的检测器。晶片级由一个由空气轴承单元驱动的真空密封平台和一个细螺距的铅螺钉组成。探测器级由直接驱动步进电机驱动，该电机将细胞成像设备对准晶圆级。G6能够成像直径达8英寸的晶片。该机XY分辨率为0.01 µm，Z分辨率为0.001 µm，Z晶片到探测器间隙为5 mm。此外，NIKON G6的整体平面度为0.5 µm，适合高量、高精度成像。NIKON G 6还具有广泛的集成光学元件列表，包括垂直傅立叶变换镜头和双线CCD传感器。G6还具有许多高级功能和可选组件,非常适合精确对齐和成像。这些功能包括自动准直工具、计算机化的1D曝光控制功能以及可编程的激光对准和显微镜功能。其他高级功能包括集成的高速、电动XY级、用于图像对齐的寄存器标记以及用于可重复、精确扫描的基准标记。此外，G6能够处理直径达8英寸的晶片，还拥有晶片和检测器之间关键对准的耦合资产。它还具有控制曝光时间和图像快门速度，减少抖动和图像失真的能力。最后,NIKON G6提供了一个用于远程控制和监控的以太网通信接口。NIKON G 6是半导体行业理想的晶圆步进器，因为它提供了卓越的图像质量指标、精确的运动线性度以及广泛的支撑功能。G6具有多种组件和先进功能,能够产生准确、高质量的晶圆图像,并具有出色的吞吐量。