二手 NIKON G6D #9144948 待售
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NIKON G6D是一种晶圆步进器,用于协助生产半导体器件。它主要用于光刻,可以同时使用各种尺寸的接触晶片和非接触晶片。G6D包含一个8英寸的列,最大映射面积为1000 x 1000 mm。该系统分辨率为0.54 µm,能够以每小时60个晶片(6英寸晶片)的速度精确对准。晶圆移动级的高精度图样精度和连续扫描使其适合于MEMS、光电子等前沿生产过程以及其他半导体应用。高分辨率步进器可用于450 nm可见光和相干可见辐射(CVR)。NIKON G6D包含一个带有字母数字键盘的多功能特定于现场的操作面板(FOP),允许轻松灵活地访问各种功能。此面板还有助于控制几何和光学设置、晶片加载/卸载、初始校准、焦点设置、拍摄时间设置、轮廓扫描和一般维护。G6D的最小占地面积使其适合清洁环境,需要有限的地板空间。NIKON G6D具有无缝启动功能和基于Windows的触摸面板界面。这种易于使用的功能缩短了设置时间,并允许操作员快速进行任何调整。G6D是免维护和可靠的,只需最小程度的服务中断。系统内置了自我诊断和预防性维护功能,以确保一致和更长的交付时间。总体而言,NIKON G6D是晶片步进器应用的绝佳选择,它提供高分辨率的成像、易于操作和最小的服务中断。
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