二手 NIKON G7 #293793324 待售

NIKON G7是一种用于制造半导体器件的高端光学光刻步进器。配备先进的光刻光学、对准精度、精密XY级、高速晶圆传输设备。NIKON G 7配备了6M像素CCD、强大的100 W水银灯和0.7的高数值孔径（NA）。该系统可以捕捉更精细的功能，并在要求最苛刻的半导体生产晶圆配置中提供最高的吞吐量。G7有两种曝光模式：光束分割模式：聚焦光束用于曝光和对准,以及单光束模式,其中仅使用曝光。这两种模式都采用了独特的暴露策略，结合了低暴露剂量和高生产率。G7具有独特的XY舞台设计,可在所有轴上提供非常高的精度。即使在高速下,它也能精确定位精度为2.5 µm。此外，视场的边缘是圆形和连续的，提供了改进的图像质量和更好的晶圆覆盖。扫描单元具有较大的扫描区域,可在整个晶片中实现最大的字段重迭和均匀的均匀性。三个非常先进的子扫描系统进一步改进了扫描运动：两个在三个轴上驱动舞台，一个在做剖析。NIKON G7的晶片传输机具有高速晶片夹紧和解开、高速晶片传输等特点。所有驱动器均为线性驱动器,可消除任何振动、噪音和磨损。驱动马达最多可提供8个马达相位,以确保速度达到500 mm/s。NIKON G7配备了成熟的作业执行工具，可以轻松地与第三方软件和控制系统集成和操作。该资产还支持触摸屏操作和常规测试（如临界尺寸和过程窗口测量）的集成。总体而言，G7是一种强大的晶圆步进器，为先进的半导体器件制造提供高精度和吞吐量。它具有独特的特点，是任何生产线的绝佳选择。