二手 NIKON i10 #293807128 待售

NIKON i 10是用于生产半导体的尖端晶圆步进器。它具有高达每小时450晶圆的高吞吐量，并以扫描曝光对准方式运行。它利用光刻光源，光学对准放大倍率高达1,120X，能够精确地处理低至0.3微米的小特征。NIKON I 10的创新设计采用全模块化模块,可精确对齐。可调光源模块的加入为适应不断变化的半导体行业提供了必要的灵活性。该机器还允许各种晶圆尺寸的阵列和集成的过程监控功能。I10提供了一个独特的设计，两个独立的标线可以相互切换，允许一个广泛的曝光区域。这得益于集成的低k1和k2校正，即使对于复杂的模式也产生统一的模式。这允许更高的生产率,并且能够在不需要机器停止的情况下在标线之间切换。I 10受益于许多坚固的安全特性,例如保持最佳条件和抵抗污染的真空室设计。环境安全系统保护光源室，时刻保持操作员安全。最后，高效的防反射涂层确保了可靠的性能和高产率。总体而言,NIKON i 10专为高吞吐量和准确性而设计,非常适合要求最苛刻的半导体应用。它具有模块化设计、可调光源和强大的安全功能,为半导体生产提供可靠且经济高效的性能。