二手 NIKON i10C #293814170 待售

NIKON i10C是由NIKON Corporation开发的高级级晶圆步进器。NIKON I 10 C具有基于投影镜头的光学设备，提供卓越的图像分辨率和均匀性。它利用高功率LED进行光刻，并与一系列专门的晶片基板兼容，不需要特殊的光学元件。该机适用于广泛的精密微光刻应用，包括半导体器件制造。I10C的成像系统可以提供高达0.5微米分辨率的曝光，并支持广泛的曝光和掩模制造技术，如阴影掩模、相移、二进制和连续扫描。成像单元还能够产生最复杂的图桉，包括细至0.25微米的线条和小至0.2微米的开放空间。I 10 C还配备了其他功能,可提高工作效率和准确性。其机动化晶片级为精确曝光提供了精确的运动，其自动对焦能力可用于快速晶片对准。其高精度斜角算法保证了高质量的成像水平，没有图像失真。而且，其极精确的浸泡液室提供了极好的平面均匀性和动态稳定性，导致更高的产率。此外，NIKON i10C独特的晶圆协调机被设计为能够快速准确的组合晶圆曝光，同时最大限度地减少晶圆失真。该工具通过图像旋转和扫描迭代提供软件控制的扫描和玻璃基板运动。这些功能确保NIKON I 10 C能够为各种晶圆尺寸和形状提供高效曝光。总而言之，i10C是一种强大的晶圆步进器，旨在支持最先进的微光刻应用。其高精度成像资产、机动化晶片级、自动对焦能力、出色的平面内均匀性和动态稳定性以及高效曝光协调模型只是使I 10 C成为NIKON最佳机器之一的一些特点。