二手 NIKON i11 #293606913 待售

NIKON i11晶片步进器是为半导体晶片处理应用而设计的全自动光刻设备。它提供了最高的吞吐量,但具有最大的分辨率和图像保真度。本机是各种半导体器件生产工艺的理想选择.NIKON I 11系统是一种强大可靠的光刻解决方桉,适用于先进的光掩模制造工艺.I11晶圆步进器由先进的22毫米平场和4K计算机控制的偏转单元提供动力。这台机器提供高度精确的光刻处理与一个大的过程窗口，确保高可重复性。步进器还配备了高分辨率光学工具，数值孔径大0.8，快门时间仅为4.5毫秒，步进器配备了全自动清洁资产，确保了标线的清洁度，最大限度地减少了颗粒产生。该模型还具有低温视图检查器，允许用户检查标线中的微观模式。此功能允许用户在蒙版工艺启动前识别出任何错误或污染,以获得最大的产量和质量。I 11晶片步进器分三级，包括晶片级、标线级和腔室级。晶片级利用角编码器和伺服电动机提供对步进器扫描面积的精确控制。它还配备了标准的加热卡盘设备和抗蚀性水坑加热器，以确保温度和工艺控制均匀。标线级装有一个空气轴承滑轨，用于固定面罩，并在曝光时保持与晶片卡盘完美对齐。腔室舞台包含众多组件，包括百叶窗、MER屏蔽、光学窗、扩散器和汞灯外壳。此阶段可确保晶圆曝光过程中的精确、一致和可重复模式。NIKON i11晶圆步进器还有一个用户友好的软件界面，可以从前面板轻松访问。使用此界面,用户可以从一个中心位置轻松设置、控制和监视其生产过程。步进器还可以存储暴露参数等配方信息，以便重复给定的模式。总体而言，NIKON I 11晶片步进器是大容量晶片处理应用的理想选择。它提供高分辨率的光学系统、自动清洗装置、强大的偏转和扫描功能、用户友好的软件界面和全自动过程控制。这些功能使用户能够快速高效地生产出可靠和高质量的半导体器件。