二手 NIKON i11 #293763323 待售
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NIKON i 11晶片步进器是一种高端工业自动化投影光刻系统,旨在将微小的特征精确地复制到硅晶片或其他基板上。NIKON I 11拥有高端步进器,具有5倍减小变焦光学减小装置,以及高分辨率、大视野的CCD相机。I11利用真空晶片级与顶部和底部的柱头对齐边缘一起,实现精确的图样放置和覆盖。I 11包括一个先进的光刻控制系统与计算机控制的显微镜幻灯片,不断跟踪和测量晶圆上的图样位置的高精度和精确度。NIKON i11还包括全方位的照明选项和各种光学元件,以提供灵活精确的光刻能力。NIKON I 11采用直观智能的用户界面设计,旨在让操作员的工作更加轻松快捷。不同的用户可以使用触摸屏界面在整个过程中轻松调整或修改详细的光刻参数。I11还具有小功能、高分辨率标线和高NA镜头的选项,从而提高了吞吐量。I 11设计用于制造各种尺寸和特性的光掩模,吞吐量高达每小时7700个部件。这使得它适用于各种工业应用,特别是在半导体晶片的制造中。NIKON i 11的高分辨率成像技术确保了模式的精确复制,特征放置精度在0.4-1.0 µm之间。NIKON I 11采用聚焦光束成像技术,具有先进的自调节聚焦和恒定粒子优化,以增加即使是最小特征的模式对比度。此外,i11还配备了模式匹配技术和内置的程序编辑器,能够实现错综复杂的光线曝光和可重复的结果。总体而言,I 11是一款高端晶圆步进器,提供无与伦比的精度和精确度,非常适合各种工业应用。
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