二手 NIKON i11 #9296413 待售
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NIKON i11是由NIKON制造的晶圆步进器,在光学和基于光学的技术世界中是领先的名称。NIKON I 11晶片步进器是利用5轴对准技术在半导体晶片上精确放置和图样光阻的高效、精确的设备。它非常适合那些需要为专门的高科技应用创建纳米级晶片的人。由于其专有的5轴后对准系统,i11能够以无与伦比的精度打印光刻图样。该单元允许晶片步进器在应用过程中调整其光学,以补偿晶片上的图样和目标之间的任何变化。这将导致比其他晶片步进器解决方桉更高的精度,并有助于确保最终产品具有最高的结构完整性和最高的性能。I 11具有各种各样的特点,例如其革命性的两束曝光机,它可以在直径150毫米的晶片上快速放置复杂的光刻图样。此外,此工具还可以打印多种曝光模式,而无需切换光束角度或进行繁琐的重新定位。NIKON i11还具有高速图像捕获资产,可以准确记录应用模式,甚至检测到与目标有丝毫偏差。这在具有挑战性结构的晶片(如双面光致抗蚀剂或涂层图样不相等的晶片)上打印时特别有用。此外,NIKON I 11还包含了适应医疗器械制造商需求的功能。它能够接受原材料输入,并以高度的精确度将其送入基板。此外,该模型还能够进行基于激光的位移测量(LBDM),以便在打印光刻胶图样之前确定其精确位置,从而使医疗设备制造商能够确保其图样具有一贯的高精度。这种前沿晶片步进器也是为了方便操作而建造的。高性能200W激光器使它能够快速打印光刻胶图样并完成它们,而不会影响质量。此外,i11还可以重新配置和升级,以增加处理的多功能性。这有助于制造商跟上晶圆加工技术的进步,使I 11成为一项极好的投资。
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