二手 NIKON i11C #293600659 待售

NIKON i11C晶片步进器是NIKON系列晶片步进器的最新版本,能够高效、精确地生产半导体。它是第一款搭载全新高功率投影镜头i-LIGHT Lens™的机型，提供清晰、高分辨率的光刻，具有宽广的数值光圈。i11C的主要组成部分是它的i-LIGHT Lens™，它结合了两个反向旋转的圆柱镜。这使得其0.325的宽数值孔径和65nm的完美分辨率得以实现。这种投影镜头能够有效地扫描宽阻抗厚度与快速曝光.I11系列经过优化晶圆处理能力的设计。这包括不仅能有效地处理标准半导体晶片，而且还能处理超细晶片、绝缘体金属（MOI）晶片等等。通过并行处理和先进的自动对焦技术,实现了准确、高通量的成像。i11系列采用了多种精密技术，以确保晶圆最佳对准和晶圆平整。其最新的高宽高比曝光系统（HARES）利用扩大的曝光面积和扩大的多样性范围,快速准确地将晶片与不均匀的表面和边缘对齐。晶圆步进器还记录高级工艺控制和质量保证所必需的信息。跟踪和存储有关条件的数据，如舞台位置、镜头位移和迭加，供以后分析。这使得模式具有很高的准确性和可重复性，使NIKON i11C能够满足先进半导体制造的高需求。为了实现高效的开发和操作,i11C配备了一套全面的软件。这包括各种工艺设计工具和实用程序。此外,还包括网络功能。这些功能允许与其他NIKON系统进行通信,从而使用户能够灵活地与其他生产工具进行链接。总体而言，NIKON i11C是一种功能强大、用途广泛的工具，它可以改进对传统晶圆步进器的控制和精度。它非常适合具有挑战性的光刻任务，如接触开口和蚀刻步骤过程。利用其高性能投影镜头和优化的晶圆处理能力，提供了支持半导体制造所需的效率和精度。