二手 NIKON i11C #293664633 待售

NIKON i11C是半导体制造中常用的高精度晶圆步进器。它是NIKON Regulus系列晶圆步进器的一部分，在设备处理精度、迭加精度和成本效益方面提供卓越的性能。I11C具有先进的成像系统,其中包括具有高分辨率图像的无扫描相机、较大的景深范围和动态覆盖CyberOptics。这确保了在各种基材和材料上的最佳对齐。晶圆步进器还具有高速CCD矩阵曝光系统,该系统可减少曝光时间,同时在多个步进器运行过程中保持一致的精度。这种合一的方法不需要额外的机器或外部设备。NIKON i11C的缝合技术提供了卓越的分辨率和精确的迭加精度,允许给定晶圆上的重迭曝光。缝合步骤也不需要缝合面罩和手动对准步骤。另外，晶片步进器结合了尼康定律定向检测技术，用于精确的图样匹配和迭加精度。这些功能的组合为当今可用的任何晶圆步进器带来了最高的分辨率、性能和准确性。I11C具有6自由度的倾斜轴,使其能够精确执行复杂的缝合和曝光任务。倾斜轴提供了3D加工操作所需的附加控制和复杂程度。此外,它的精细间距配准功能使用户能够轻松满足具有挑战性的几何要求。晶片步进器的柱兼作辐照单元,允许在单个基板上执行复杂的3D加工操作。它还提供了阶跃曝光功能,可减少掩码和优化成像时间。NIKON i11C还使用户能够减少制造设备所需的过程步骤数,从而缩短周期时间并降低成本。除了管理功能外,i11C的高级自动化还减少了停机时间和设置时间。它的连续处理功能使设备制造能够以最小的中断完成。晶圆步进器的高性能算法使用户能够实时跟踪状态，从而可以主动解决问题。NIKON i11C是一种特殊的半导体制造机械,能够对各种基材和材料进行精确的器件处理、卓越的迭加精度和成本效益。其先进的成像和自动化功能确保了最佳生产效果。