二手 NIKON i11C #9205853 待售

NIKON i11C晶片步进器是为高效生产先进集成电路晶片而设计的一种自动照相光刻设备。它是先进生产复杂微型设备的创新解决方桉。I11C晶片步进器结合了NIKON高精度扫描阶段的功能和最新的分析技术,提供了卓越的性能和成本节约。这个价格有竞争力的自动照相系统拥有许多先进的功能。NIKON i11C晶片步进器利用三维扫描技术对光刻面膜和基片进行精确对齐。晶片步进器的自动化级控制单元使屏蔽和晶片具有先进的光学和机械对准效果。这样可以精确地定位步进器主体中的掩模,从而加快周转时间并降低成本。I11C晶片步进器还具有一整套应力测量和传感系统。先进的应变仪机可以检测和监测长期应变、热蠕变和温度突然变化引起的应力。最先进的线性和旋转编码器测量基片和光刻面罩的相对位置，精度超过1微米。此功能可确保快速检测到基板表面的细微变化,从而可以将高分辨率图样精确传输到晶片,而不会出现任何错位。NIKON i11C晶片步进器还利用高端光学工具向晶片传输图样。这一资产利用集成的10百万像素CCD传感器以0.25微米的分辨率捕获图像。CCD传感器还具有环形照明模型，能够以较高的吞吐量捕获电路模式的精确轮廓。综合光谱成像设备通过分析晶圆表面图样的形状和信号，进一步提高了图样识别精度。I11C晶片步进器还具有自动对准系统，以提高光刻工艺的准确性和可重复性。这种自动化装置利用双摄像头、双视图投影机将面罩精确对准基板表面。先进的视觉工具可以有效地检查每次扫描，并确保模式被准确地传递。自动对齐资产还可以减少人工,从而加快周转时间并节省更多成本。NIKON i11C晶片步进器是高精度生产先进集成电路晶片的强大且经济高效的解决方桉。凭借其先进的自动化和控制系统、卓越的图像采集以及强大的应力和应变传感器,i11C通过提高生产率和产量来节省成本。