二手 NIKON i11D #293627556 待售

NIKON i11D是一种数字芯片步进器，旨在以最高精度、精度和吞吐量处理半导体晶圆制造。NIKON I 11 D采用了先进的设计,可最大限度地提高性能,同时最大限度地减少晶圆失真和占用空间。其数字掩模成像技术重现复杂、精确的形状，确保优越的晶圆CD精度和精确的聚焦和可重复性。I11D步进器与高性能不受保护的扫描设备集成在一起,具有较大的覆盖阶段,并且为每个客户提供了多种特定于工作的配置选项。这款单板系统为用户提供了高水平的集成，包括电动舞台、室内电梯、缩放光学、平板显示器和直观的触摸屏控制器。该单元与一系列掩模模式和迭加级兼容，包括用于高精度测量的标线和高色散扫描仪。I 11 D还具有先进的安全功能以减少污染风险,包括中央屏蔽气体喷射控制器,以保护光学机器免受外部污染,实时缺陷检查功能,均匀屏蔽覆盖范围以及集成的环境监控。晶圆犁机构有效地将晶圆密封在下面的基板上，降低了腐蚀的风险。此外,为确保高吞吐量和工艺产量,NIKON i11D提供了一套工艺控制功能,如剂量扫描、模具内定位、阶段到阶段匹配和批到批匹配。NIKON I 11 D的设计满足半导体晶圆制造的最高可靠性、精度和速度水平。获得NIKON专利的体系结构提高了光学性能、准确性和吞吐量,确保晶圆缺陷在高速运行时最小化。步进器能够加工薄至0.08毫米的晶片，可以处理直径高达150毫米的晶片，失真最小。为了提高工作效率,I11D配备了高级作业处理自动化和错误恢复系统。它还在准确性和吞吐量之间提供合理的权衡,并且可以进行扩展以满足特定的客户需求。步进器易于使用的触摸屏控制器确保了平稳的操作和与其他设备的无缝通信。通过提供准确可靠的晶片步进解决方桉，I 11 D是满足芯片处理需求的理想选择。其高性能，加上先进的安全特性，有助于达到晶圆制造的最佳效果，产生快速高效的批量生产。