二手 NIKON i11D #293752967 待售
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NIKON i11D是一种高度专业化的晶圆步进器,用于集成电路(ICs)的制造过程。它是一种扫描光刻工具,使用激光器和扫描仪在IC制造过程的每一步都能得到极其精确的结果。NIKON I 11 D利用大量的光学元件、传感器和精密的处理单元来实现高精度晶圆扫描和激光控制。高度先进的投影光学系统可提供快速、准确的扫描精度,最小步长为5 nm,从而能够以极严格的公差绘制细微的形状。该成像系统具有高度灵敏和可配置的CCD线路检测器,可在晶圆上实现高精度成像。I11D还采用了多种对准和配准方法,包括非接触跟踪激光器,使晶片与步进器快速、准确对准。此外,步进器采用双级顶置晶片台和磁板夹具,确保了晶片对准和夹紧时的最高精度。I 11 D还具有高功率激光器,用于晶圆的精确和速度独立曝光,然后将其与光刻步进器精密的数据采集、处理和输出系统结合起来。NIKON i11D支持多种分辨率、可重复性和吞吐量级别,并且能够处理直径不超过8英寸的晶片。NIKON I 11 D是一个强大而精确的晶圆步进器,是IC製造过程的组成部分。其广泛的功能使步进器能够提供高精度的结果,同时提供高效的吞吐量。其严谨的设计,加上其精确的成像系统,确保了最高质量的IC能够快速、经济高效地生产出来。
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