二手 NIKON i11D #293797472 待售

NIKON i11D是由NIKON Corporation製造的多层、高解析度晶圆步进器。它是为半导体工业中的微芯片的高精度光刻加工而设计的，是最先进的步进器之一。它提供了较高的对准精度、卓越的曝光精度和卓越的迭加特性，使最复杂的结构得以精确生产。NIKON I 11 D的最大分辨率为0.1微米，允许精确的光刻再现和微芯片的最佳制造。它支持设备设计的图样设计,其细线/空间特征可低至0.11 µm, 3D结构可低至0.25 µm。其光学设备可实现从紫外线（UV）到深紫外线（DUV）光谱的各种曝光波长。其先进的具有微观特征的对准相机系统可检测到小至2 µm的特征，其自动光刻同步单元可确保每个图案层的最高精度。I11D有一个大舞台，尺寸350毫米x 350毫米，可以加工直径达300毫米的大型晶片。它还配备了专门的晶圆处理机，以提高制图阶段的平滑度。这样可以在单个过程中实现多次曝光,从而节省晶圆处理时间和成本。此外，I11 D有一个专门的清洁工具用于基材的制备，以及一个用于检查和监测基材图样的高度精确的显微镜。这种检查和监测能力确保了每个制造结果的优化。它还包括一个独特的自动调整资产,用于更改不同层厚度的焦点级别并确保最高质量的阵列。总体而言,NIKON i11D是一种功能强大的下一代晶片步进器,可为高级微芯片制造过程提供可靠的性能。其高分辨率、宽曝光波长范围、强大的操控和清洗系统，以及精确的检测能力，使其成为实现精湛光刻效果的绝佳选择。