二手 NIKON i11D #293805260 待售

NIKON i11D是一种先进的晶圆步进器，专为解决先进半导体器件的步进特性而设计。通过结合光学、机械和电子元件的高级功能，NIKON I 11 D晶片步进器能够与广泛的晶片尺寸和工艺应用一起工作。i11D晶片步进器的机械设计采用带X/Y表的1轴电机驱动器,可精确定位晶片表面以获得最佳曝光。1轴由微量移动电动机驱动,电阻电动机编码器与控制器配合使用,可实现高达6nm的X/Y表分辨率。晶圆级是业界的标准，总行程范围320mm X 100mm。I 11 D晶片步进器提供了广泛的工艺能力，包括溅射沉积、热氧化和模式转移。它设计为使用两个4轴运动系统，以确保图桉被精确地转移到基板上。第一个运动轴安装在X/Y台上,由微动马达驱动,而第二个运动轴安装在腔室单元上并驱动主轴。此组合提供4.0 mm x 40.0 mm的最大工作面积。NIKON i11D晶片步进器上的光学设备设计用于高分辨率成像。该系统利用倾斜光束照明器和CCD摄像机来捕捉图样。CCD相机专为高分辨率成像而设计，提供7.5 nm的分辨率。光学单元还可以与各种图像增强系统集成，如紫外线激光器，进一步提高成像能力。另外，NIKON I 11 D晶片步进器包括一个真空级，一次最多可容纳100个晶片。I11D晶片步进器包括一个直观的用户界面,机器操作员、工程师和技术人员可以轻松浏览该界面。该计算机提供实时图形用户界面（GUI）,允许快速、准确的流程设置和操作。此外,该工具还能够存储和复制工艺配方。总体而言,I 11 D晶圆步进器是半导体晶圆厂的先进资产,它提供了广泛的工艺功能。其先进的机械、光学和电子元件提供精确的晶圆处理和成像,而直观的用户界面确保了高效的操作。其特点的结合使其成为制造行业非常理想的设备。