二手 NIKON i11D #9094100 待售

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製造商
NIKON
模型
i11D
ID: 9094100
晶圆大小: 5"
Stepper, 5" Resolution: 0.35 um N.A.: 0.63 Exposure light source: i-line Exposure area: 22 x 22 mm to 17.9 x 25.2 mm Alignment accuracy: 70 mm.
NIKON i11D晶圆步进器是一种高精度、高分辨率的光刻机,满足了半导体行业的严格需求。它主要用于制造具有极小特性的半导体芯片。NIKON I 11 D晶圆步进器由一个最先进的双轴精密级供电,能够产生从6微米到几微米大小的特征。集成的无失真光学器件允许最大图像质量和最小像差。这使制造商能够以极高的分辨率制造出最先进的芯片。晶圆步进器设计用于高端光刻应用,包括生产精密半导体和MEMS器件。它有3个半自动曝光场,4个单独曝光,20个子曝光。这使得复杂结构的制造具有无与伦比的精确度和灵活性。I11D晶圆步进器的设计也具有很高的自动化程度。使用自动CPU控制器,通过使用8 cm的视场方便晶圆对准。步进器能够在处理后自动测量芯片之间的间隙。I 11 D还配备了一个精密的软件包,能够以高精度和控制的方式精确模拟曝光过程。该软件旨在自动优化每个晶片的对齐参数,以确保最佳性能。该机还配备了多种自动化过程控制功能,包括自动化剂量测量系统。这有助于确保每个芯片使用适当的曝光量。NIKON i11D易于操作和维护。自动化维护计划有助于提供高水平的一般护理和稳定性,而频繁的升级和彻底的操作员培训则确保机器处于技术的最前沿。强大的技术支持团队提供故障排除帮助和处理建议。总体而言,NIKON I 11 D晶圆步进器是高端光刻应用的理想选择。它具有很高的准确性、自动化性和特征性,并保证能够产生出色和可靠的结果。
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