二手 NIKON i11D #9118194 待售

NIKON i11D是一种高性能、高精度的设备，用于将电子电路图样照射到半导体基板上。它是一个全场步进器，利用先进的光学、减少的照明和高分辨率的成像来在单个晶片上精确地绘制设备的宽度图样。它用于一般电路处理，但最常用于制造先进半导体器件和MEMS电路的复杂和原型。NIKON I 11 D利用光掩模（一种具有金属图案区域的元件）来定义晶圆基板上的电路模式。激光束被引导到掩模上，反射光被消磁并被引导到基板上。此过程重复多达16次，以创建一个完全成型的晶圆。步进器可以产生12 μ U及以下大小的高级电路模式。I11D是一种有效的工具，使用户能够最大限度地利用其基材。该设备采用先进的5件式SMIF（标准机械接口格式）硬件和高分辨率光学系统构建。步进器采用独特的"点印"技术，最大限度地提高模具尺寸，减少临界尺寸变化。步进器还设计有照明均匀性，在制造过程中最大限度地提高芯片产量。I 11 D涉及各种影像软体来支援,例如CATS SE2、NIKON专有影像软体,让操作员可以使用使用者友好的介面轻鬆控制步进器。CATS SE2具有可定制的功能集、查看工具和分析工具,以帮助精确调整项目的参数。NIKON i11D能够在各种光刻应用中获得优异的性能和产量。整个系统提供高质量的成像系统，非常适合原型制作或中小批量生产。NIKON I 11 D是生产周期的关键，为用户提供可靠和可重复的光刻工艺。