二手 NIKON i11D #9159474 待售

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NIKON i11D
已售出
製造商
NIKON
模型
i11D
ID: 9159474
Steppers.
NIKON i11D是一种全场晶圆步进器,用于半导体制造的光刻工艺。它被设计为经济高效的解决方桉,能够在各种掩模尺寸和技术上提供高吞吐量和稳定的对齐精度。NIKON I 11 D具有精密的直线电动机驱动级,以实现更精确的对准和级移动。它还拥有12.25英寸x 12.25英寸的底座、11英寸x 11英寸的大卡盘尺寸和1.00英寸的孔径尺寸,以提高安装效率。I11D是为了满足最高的性能和灵活性标准而构建的。它配备了世界级的DMD传感器和闭环伺服设备,以保证映射精度。其超低失真光学和主动隔振系统即使在最高晶圆吞吐量下也能提供对齐的图像。I 11 D还支持高达0.05-0.2 μ m的迭加可重复性。NIKON i11D具有先进的操作和维护功能。它有一个大的内置液晶面板和循环播放,这使得它容易抽查晶片和检查他们可重复的结果。该设备还具有硬件辅助的高分辨率扫描预览功能,可用于检查缺陷。此外,自动对焦(AF)功能进一步提高了图像质量。NIKON I 11 D还拥有先进的数据管理机器,使客户能够在生产过程中分析图像数据和调整参数。该工具还支持JPC专有的基于模型的策略开发,以进一步提高我们的总体收益性能。此外,i11D还包括一系列智能对齐功能,包括模式识别和缩放、多色模式分析、模拟矩阵数据访问以及可自动调节的曝光参数。所有这些功能不仅减少了设置时间和故障排除,而且还有助于确保一致、可重复的结果。此外,资产的内置对齐日志允许操作员随着时间的推移跟踪模式和打印,从而获得可靠的性能。最后,I 11 D配备了先进的安全功能和内置冗余。该型号配备了双级运动保护装置以及防震设备。它还使用自动光束百叶窗,以确保眼睛安全和安全的识别机制,以防止未经授权进入。总之,NIKON i11D是一种全场晶圆步进器,为光刻需要提供卓越的性能和灵活性。它具有高级功能和自动化安全功能,可实现更高的吞吐量、更精确的对齐和更好的可重复性。该系统还具有先进的操作和维护功能,便于抽查晶片、管理数据和调整参数,以实现可靠的性能。
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