二手 NIKON i11D #9253274 待售
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NIKON i11D Wafer Stepper是NIKON设计的用于光刻制造的高分辨率成像设备和步进系统的最新型号。NIKON I 11 D利用高速、高精度的扫描阶段,实现了一流的重复性和卓越的吞吐量。I11D图像捕获技术采用复杂的透镜设计,可实现精确成像,并可提供全面的半导体晶圆生产要求的成像能力。此单元具有360度的视场,非常适合任何尺寸的晶片(包括直径200 mm或300 mm和高达700 mm的高度),以提供比以往更精细的音高能力,并具有卓越的速度、精度和可重复性。I 11 D还包括最新的步进技术,它能够提供广泛的视野和高精度。它的扫描阶段能够提供脉冲宽度调制控制,以实现超精确的扫描和放置,同时确保曝光场和不同层层之间的平稳过渡。步进器具有高分辨率每秒1000帧的扫描速率,具有卓越的重复性和广阔的视野。其先进的低色散透镜和光学器件提供了整个过程中的最佳成像。该机还设计了一系列组件,进一步提高成像精度和吞吐量。NIKON专有框架过度曝光(FOE)技术优化了每一帧的曝光时间,并进一步确保了精确扫描。NIKON i11D的所有组件都是为了达到质量控制和安全的最高标准而设计的,其中包括各种接口以加强操作。NIKON I 11 D还设计用于高精度重复性和快速周转,使工具能够快速处理各种晶圆和生产水平,具有卓越的成像能力。该资产包括多种功能,旨在提高准确性和效率,使其非常适合需要精确度和准确性的过程。其轻巧的结构和高效的设计允许移动和进入空间有限或需要便携式生产的区域。i11D具有高速、高精度的扫描性能、卓越的成像能力和先进的步进技术,是任何光刻技术需求的理想选择。
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