二手 NIKON i11D #9260431 待售

NIKON i11D是一种先进的晶片步进器,可提供快速、高度精确的晶片检查和处理。该步进器专为半导体和光掩模制造业的应用而设计。它具有高精度、分辨率和可重复性。NIKON I 11 D具有先进的晶圆检测和处理能力。步进器的场大小为12英寸（30.5厘米）对角线，使步进器可以处理更大的晶圆。最大车厢行程为900毫米（35.4英寸）。它具有0.15 µm的最小步长高精度，以及12位色深的高解析度相机。该机还具有可靠的自动装载机机制，用于快速装卸基板。本机利用柱内快门保护镜片和基板免受碎屑的伤害。快门还减小了所选曝光范围的面积，导致步进处理速度加快。I11D有一个创新的全面罩检查系统，允许每个面罩检查多个图样。这样就可以在一个周期内精确地检查各种模式。I 11 D还具有先进的成像和分析功能。它有一台基于Windows的个人计算机，允许程序定制，以及直观的用户操作。还有一系列软件选项，如3D和高阶模式分析、锐角掩码识别、缺陷识别和评估、多重曝光和成像以及掩码设计验证。NIKON i11D也是环保高效的。它具有较低的臭氧消耗潜力和不含氟氯化碳的结构，以及较低的功耗。这有助于降低运营成本。最后，NIKON I 11 D还利用了一系列安全特性，例如内置的安全联锁和紧急停止系统。总体而言,i11D提供快速、高度精确的晶圆检查和处理.它提供了先进的成像和分析能力以及环境效率。