二手 NIKON i12 #293603629 待售

NIKON i12是半导体工业中用于光刻和精密制图的高精度晶圆步进器。它能够产生亚微米的特征大小和平坦的，精细的图案曲面。NIKON I 12兼有软硬光掩模，因此适合多种应用。I12具有强大的光学设备,用于将图样投影到工件板上。该系统包括一个对准单元、一个将原始口罩固定在适当位置的口罩更换器和一组高分辨率镜头。镜片被设计成将光聚焦到面膜视网膜的一个细小的斑点。它们还提供轴上对齐，因此该点与标线格精确对齐。I 12还拥有一系列功能,旨在最大限度地提高其准确性和速度。例如,CircleField校正机（CFCS）补偿晶圆步进器旋转级中的摆动。还有一个专门的网格生成器，称为MetraGrid，它使用户能够以非凡的精度生成模式。NIKON i 12还包括一个Advanced Machine Control （AMC）工具，它提供直观、自动化的控制资产。这个模型能够达到最大的对准精度，加上一系列额外的功能；例如,它可以自动检测和校正标记模式中的任何错误,以及计算最佳曝光时间。NIKON I 12还提供高达0.15微米的光掩模对准精度。这允许高度可重现的模式和严格的尺寸控制。此外,步进器还具有多轴电机控制功能,使其能够导航晶圆,从而在需要多个曝光步骤时实现精确对准和定位。这一特性也使得i12适合多次曝光和多级光刻。最后，I 12设计提供长期可靠性，并配备了一系列故障检测和预防性维护功能。它还附带了NIKON着名的在线支持服务和一套全面的软件应用程序。