二手 NIKON i12 #293793326 待售

NIKON i 12是一种基于曝光的晶圆步进器，旨在在一系列基板上提供精确、高性能的光刻成像。它非常适合IC封装、MEMS、高级封装、生物传感器和光子应用等广泛的应用。NIKON I 12的设计具有卓越的精度和动态范围,并配备了步进剪切对准设备,可重复曝光和扫描精度。它具有8英寸对准模块和5轴机械手控制、2.5微米的光斑大小、6倍的可编程扫描面积,以及改进的伺服扫描仪,可提供高速扫描。此外,i12还提供高分辨率图像合成和CINAS（计算机集成纳米分析系统）兼容性。I 12为用户提供了灵活性和高分辨率成像以及先进的晶圆精度和可重复性。该系统的构建是为了在与N-Vision Long Pr处理单元结合时提供高效的操作。该机器具有测量模式、平面内和旋转对齐方式、集成的迭加分析功能、ActiveEdge Technology和多点曝光功能。其ActiveEdge Technology可确保最小成像效果,并允许快速、准确地控制镜头尺寸和边缘精度。此外,NIKON i 12还采用NIKON Advanced Illumination Management Tool（尼康高级照明管理工具）提供增强的灵活性和吞吐量。它提供了一系列光源（g-or i-line源、KrF或ArF源），以优化曝光条件。用户友好型资产通过直观的图形用户界面提供直观的操作员体验，允许简单的设置和操作。此外,它还使用ABF-Lite模型在多个站点之间提供直接对齐功能。它使指定区域内的多个晶片能够快速高效地处理。该设备的预测迭加分析提供了磁带和烘烤前迭加结果的反馈,减少了磁带和烘烤的数量,并实现了快速高效的过程跟踪。总之，NIKON I 12是一种先进的晶片步进器，能够提供快速、精确的光刻成像，提高精度、重复性和灵活性。其先进的功能和工具,如ActiveEdge Technology和Predictive Overlay Analysis,使其成为IC封装、MEMS和光子学等应用的强大工具。