二手 NIKON i12 #293825801 待售

NIKON i12晶片步进器是利用先进的激光投影技术和先进的图像处理，将半导体层定位和对齐到单个晶片上的自动化装置。这一过程对于制造半导体模具等小型电子元件至关重要。NIKON I 12晶片步进器为精确对齐晶片层提供了极高的精度，允许更快的生产时间和更高的产量。I12晶片步进器配备了大的光刻场，高分辨率成像和强大的照明设备。步进器能够在分辨率高达0.10微米（100 nm）的晶片上写入图样,并且具有很高的图样性。利用由紫外线激光器和控制光学器件组成的先进模式投影系统在晶圆上投影精细的详细模式。通过结合先进的图像处理算法和先进的CCD单元，进一步实现了精确的步进对齐。ECU控制器允许对晶片级进行精确的运动控制，而X-Y坐标测量传感器则提供高精度的位置读出。除了先进的对准能力外，I 12还具有令人印象深刻的抗涂层能力。它能够在每批晶片上持续涂覆相同的厚度和抗蚀量。作为晶片步进器设计的一部分，紧凑型耐热涂层（CRC）容器可实现高精度涂层控制。此外,晶片步进器的先进清洁能力和强大的预烤处理能力可提高吞吐量,并最大限度地减少设置和拆卸时间。NIKON i 12最多可处理8英寸晶圆，有较大直径的选项。它非常适合深层UV和DUV应用,也非常适合用于逻辑、内存和图像传感器市场的先进前沿设备流程。总体而言，NIKON I 12晶圆步进器是半导体行业的宝贵工具。其高精度的对准能力和强大的抗涂层机提供了一致、可靠和高效的晶圆生产。此外,其先进的清洁工具和烘烤前处理功能可确保更大的吞吐量,并缩短安装和拆卸时间。I12是适用于各种设备制造过程的完美自动化解决方桉。