二手 NIKON i12 #9168034 待售

NIKON i12是一款具有先进能力和性能的高端、高容量晶圆步进器。可用于製造商IC等元件，如半导体、光电、MEMS。NIKON I 12具有全掩模对准设备，允许高精度曝光小特性，如通气孔、触点和线条。此外,该系统还具有降低2.5-5X的现场能力,可实现高生产吞吐量。I12是266mm步进器,图像尺寸可达200 mm x 200 mm,降低速率为0.3到5X。曝光类型是用于LED层压的LED场阵列,可提高分辨率,而无需对标线进行初始对齐。该单位还有能力利用几项正在申请专利的技术减少失真、涂抹和聚焦错误。I 12搭载DSA技术，代表「Deep Screen Array」。这允许以最小特征大小曝光,这是制造商的承诺。它还提供了更好的晶片质量和提高产量。NIKON i 12晶片步进器利用双IC曝光机提供高性能和精确度，最大限度地减少了热漂移的影响。该工具还具有电子缝合功能，可以可靠地登记多个标线。此外,还可以通过高精度的标记符号分析对整个晶片进行配准.NIKON I 12晶片步进器也以其先进的曝光过程而拥有优越的曝光度。减小矢量光束（RVB）技术可将曝光时间降至最低,并减少曝光误差。低质量、高速级和无振动结构也使曝光时间最小化,从而实现了更广泛曝光范围的工艺优化。I12还通过其先进的成像分析增强了成像能力。这包括局部暗曝光控制和暗曝光,以及临界尺寸迭加控制.图像软件还可以预测潜在的缺陷，可用于识别过程漂移并提供卓越的图像质量。I 12晶圆步进器提供了尖端、高精度的功能,使制造商能够在严格的期限内交付产品。该资产提供自动化,以实现最终的效率和可重复的结果,以及生产的耐用性和可靠性。它还易于使用且节能,可提供经济高效的操作。