二手 NIKON i12 #9285477 待售

NIKON i 12是为尖端半导体光刻作业而设计的先进晶圆步进器。它使用获得专利的Calibrated Automation组件以最少的材料浪费实现高吞吐量,同时保持对所有过程变量（包括位置、曝光时间和焦点）的极其精确的控制。晶圆步进器可用于各种设备制造和工艺应用，均能快速准确地执行。NIKON I 12有一个专有的底架，支持非常平滑且低振动的运动。三轴直线电动机驱动级提供X、Y、Z运动，分辨率为0.01微米，可根据工艺要求以纳米精度独立调节。此外，底架采用嵌入式隔振技术，有助于确保整个光刻过程中的高精度。I12利用先进的光学和强大的光源相结合，实现高分辨率的图样，并具有出色的对比度。可调镜将投影场定位在整个晶片上，而新颖的图像滤镜设备将光学失真的影响降至最低。步进器还配备了多种设备，以补偿多种曝光要求，包括背面图像掩模、散焦控制、焦点移位对准和降低背板反射率。I 12暴露的系统具有多种功能,可确保最佳的生产效率水平。它配备了晶片级晶片装载机，可以让多达8个晶片同时快速轻松装入。该装置还配备了先进的计算机化数控机器（CNC），具有运动控制功能，可监控刀具性能以及区域和分区调整，以自动补偿资产中的任何潜在缺陷。此外，一个最先进的视觉模型检查每个晶片的缺陷之前和之后的模式。总体而言，NIKON i 12是一种先进的晶圆步进器，旨在提供具有高度可靠的图样性能的半导体光刻操作。集成的校准自动化技术保证了出色的分辨率、准确性和控制能力,而且多种功能确保了设备组件的自动化、高速生产。