二手 NIKON i12 #9364674 待售

NIKON i 12是一种高精度、高度自动化的晶圆步进器，专为需要高吞吐量和精确度的先进光刻应用而设计。它配备了自适应阶段、多层次聚焦深度、G型密封扫描仪等先进技术。晶圆步进器设计用于广泛的光刻工艺，包括极紫外线（EUV）、浸入式光刻和激光感应热成像（LITI）。步进器的最大扫描场大小可达12 "x 6"、多级聚焦深度和高分辨率成像设备,以确保精确曝光和阵列放置网状结构（PPR）。晶片步进器配备了一个自适应级，在曝光前精确对准和定位晶片。它还装有一个G密封光学扫描仪和一个用于精确模式放置和检查的曝光监测系统。它还能够自动将运动轴和焦点轴对准晶圆及其图样位置。NIKON I 12晶片步进器还提供了复杂模式放置的高级控制选项。一个额外的保护和控制单元阻止任何尘埃粒子或其他外星粒子进入成像机器。这有助于维护成像工具的完整性,以提高准确性和分辨率。I12晶片步进器还具有一些有趣的功能,例如镜头识别功能、直观的图形用户界面（GUI）和I 12 Viewer软件,可快速轻松地预览曝光数据。利用这些功能,用户可以在曝光前可视化复杂的图桉形状和密度。NIKON i 12为大批量生产和关键应用提供高吞吐量和准确性。它还配备了惯性和环境补偿以及光学补偿能力，以纠正环境或位置的变化。它的模块化配置提供了与行业标准面罩和镜头封装的兼容性，并为用户在使用各种光刻应用程序时提供了灵活性。除了所有这些功能外，NIKON I 12还具有诸如自动索引和批处理等复杂的自动化功能。它由NIKON先进的光刻工具如iNspect、iLitho和iExposure支持，这些工具旨在满足并超过光刻应用的苛刻要求。凭借其先进的特点和技术，i12是先进光刻技术的完美工具。