二手 NIKON i12D #293673209 待售

NIKON i12D是日本光学成像公司NIKON製造的晶圆步进器。它是一种先进的设备，用于制造集成电路芯片，现代电子的心脏。这种晶片步进器的设计能够提供高精度和高通量以及卓越的工艺重复性。它体积小、性能高，非常适合用于研发和商业生产作业。I12D具有200 mm晶片场,精度为0.1微米,可实现全晶片步进精度。晶片步进器具有主动的DLP对准能力，使得晶片卡盘的定位和有源光学图样失真校正能够极其精确，以确保芯片边缘完美无瑕。NIKON i12D还有一个集成的光学测量系统，非常适合MEMS、TEG和微加工等应用领域。该系统使用各种对齐方式,并与复杂的软件进行交互,以测量过程的任何覆盖和准确性。然后记录测量结果,并将其用于优化步进参数。这将提高成品的质量。I12D还有一个集成的特殊光学器件，用于检测具有最先进的光学器件的端面sofmask nanopattern。这使得它适合要求苛刻的单一光刻工艺步骤。该光学器件还具有17秒的曝光时间,可确保在重复纳米级特征时的高吞吐量。在安全性方面，NIKON i12D在20 mT的低压下运行，使其适合在洁净室环境中使用。它还具有实时发射监视器和无接触式光掩模更换器。I12D符合环境和健康安全的最高标准。总之,NIKON i12D是晶圆制造的最佳步进器.它以低压提供高质量和精确度，集成了主动DLP对准、集成光学测量和特殊光学。它旨在提高工艺的可重复性和产量，并确保高质量和准确性。是研发和商业生产经营的理想选择。