二手 NIKON i12D #293748648 待售

NIKON i12D是一种用于半导体光刻的高性能晶圆步进器。它旨在优化光学性能，在光刻曝光时提供均匀的斜率保真度。I12D结合了一个静止级和一个电动级以及一个12向柱式对准设备，以提供晶圆定位的最高精度。独特的两级校正系统补偿激光位置的轻微空间位移，以确保精确对准。NIKON i12D具有0.93的高数值孔径、小于5 nm的小螺旋焦差和大于10 μ m的焦深。这确保了脉冲和连续波形光刻选项的高精度。I12D还配备了一个特殊的成像和对焦单元，其中对焦镜头通过倾斜调节机构倾斜以提供扭曲的图像。这使得微米分辨率可以在多个方向上成像，同时补偿由于晶圆的辐照区域的角偏移而产生的任何焦点变化。NIKON i12D还有一个紧凑的多合一脉冲辐照机，可以精确控制所有辐照参数。该工具非常适合短脉冲光刻和高分辨率低功耗光刻。i12D的主体由轻巧但坚固的超高强度铝合金构成，以实现最大的散热和刚度。车身还具有三层结构结构，每个部件在操作过程中都与振动隔离。总体而言,NIKON i12D是理想的晶圆步进器,适用于半导体电路阵列、印章光刻、图样传输和其他需要高分辨率成像和对准精度的过程。此资产以最小的噪音和振动水平提供卓越的性能,确保精确的图像放置和质量。