二手 NIKON i12D #293797473 待售

NIKON i12D是i-line系列中的晶圆步进器。它是一种高度精确的成像设备,非常适合生产半导体和其他需要小巧细腻特性的产品。I12D是用于图像优化的多级对齐4轴级和NA 0.33。步进器使用单一扫描、高精度、重迭的镜头阵列将曝光场缝合在一起，以获得最佳质量的生产图像。镜头阵列设计为极化误差低,可放大到0.7 μ m。晶圆级是扫描仪，目前NIKON i12D提供了当今i-line系列中最高的放大分辨率。步进器使用独特的算法，以子像素精度测量每个曝光网格点的位置信息，为用户提供更好的测量值。这允许将阵列与标准网格更紧密地对齐,以进行自动缺陷分析。步进器还有一个快速加载和定位系统，可装载直径达900毫米、运动精度为50 μ m的样品。i12D的另一个特点是其改进的自动曝光单元,可在10毫秒内集成信噪声（SSN）,在高晶圆尺寸下提供更稳定的吞吐量,并可减少偏心曝光。即使是最具挑战性的电路设计,此功能也可以改进无缺陷图像的生产。NIKON i12D可用于多种应用，包括光掩模生产、LSI生产、平板显示器（FPD）生产、CMP（化学机械抛光）生产和MEMS生产。晶圆步进器在生产环境中也被证明是极其可靠和具有成本效益的。I12D是一台出色的精密成像机,可为用户提供严格的公差、高成像质量和更快的吞吐量。对于需要能够可靠地生产高质量微电路和产品的晶圆步进器的用户来说，这是一个很好的选择。