二手 NIKON i12D #293808647 待售

NIKON i12D是一种晶圆步进器，专为帮助在半导体芯片上进行各种制造过程而设计。它由镜头设备、舞台、照明系统、扫描仪控制和更高级别的单元组成。其镜头机具有全自动光学器件，可容纳各种标线尺寸。镜头工具支持广泛的分辨率，从亚微米到微米级的精度。它还支持使用高分辨率的光掩模和标线面膜。对透镜资产进行了优化，使光学器件具有精确的对准公差和高精度对准。舞台模型配备了高精度的自动对准，以确保晶圆的精确定位。它由一个对称的X-Y载波、一个可选的N轴和一个可以方便操作的机动对准设备模块组成。这使得晶片能够高精度对准各种制造过程。照明系统是精确采样照明的精确照明源.它支持各种照明模式，可以为各种应用提供各种光源。它还具有自动光源选择功能,以提供最佳的光掩模质量。扫描仪控制由自动对焦单元、自动定位机和反馈回路控制工具组成。这有助于保持对扫描过程的精确控制。更高级别的资产提供了必要的控制模型来监控和管理整个设备的性能。它由直观的用户界面、报告系统和数据记录单元组成。总体而言，i12D晶片步进器的设计旨在帮助制造高精度半导体芯片，使用精确的对准、照明和扫描工艺。其自动对焦、自动定位和反馈环路控制系统可提供精确的结果,同时提供直观的用户界面。数据记录和报告系统提供了全面的性能指标。